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洁净室热蒸镀机使用操作方法
发布时间：2011-10-18 00:00:00 浏览：147
洁净室热蒸镀机使用操作方法
A.开机步骤
1. 开机器背面的总电源开关。
2. 开冷却水，需先啟动D.I Water 系统。
3. 开RP，热机2分鐘。
4. 开三向阀切至F.V的位置，等2分鐘。
5. 开DP，热机30分鐘(热机同时即可进行Sample 之清洗与装载，以节省时间)。
B.装载
1. 开Vent，进气之后立刻关闭。
2. 开Chamber。
3. Loading Sample、Boat及金属。
4. 以Shutter挡住Sample。
5. 关Chamber，关门时务必注意门是否密合，因机器年久失修，通常须用手压紧门的右上角。
C.抽真空
1. 初抽
(1) 三向阀切至R.V位置(
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